產品資訊
Precision and quality in every detail.
上電極石英環
穩定氣體流動，均勻化等離子密度，保護電極。
石英
（Quartz）
石英加工技術
石英具備卓越的光學性質、耐腐蝕性及熱穩定性，廣泛應用於半導體、光電子及精密工業。
核心加工能力
- 精密切割：±0.01mm 高精度加工，適用於多尺寸設計。
- 表面研磨與拋光：表面粗糙度（Ra）最低達 0.01μm，確保光學品質。
- CNC精密加工：可製作複雜三維結構，適用於高精度元件。
- 高純度清洗：去除微粒與雜質，確保無塵環境應用。
石英材料特性
- 高透光性：DUV/UV 波段高透過率，適用於光學製程。
- 耐腐蝕性：能抵抗氟化氫、氯氣等化學物質侵蝕。
- 熱穩定性與低熱膨脹性：減少熱應力影響，確保長期穩定性。
應用於蝕刻機台的優勢
- 提升氣體分佈均勻性，確保蝕刻效果一致。
- 減少微粒污染，降低製程缺陷，提升良率。
- 延長反應腔體壽命，減少等離子轟擊損耗。
石英環應用
下電極石英環
防止化學腐蝕，提高等離子體集中度，降低能量耗損。
