技術情報
Innovating today, shaping tomorrow.
L1：
表面研磨およびパターン再形成
静電チャックの設計および再生
半導体製造プロセスおよび光電パネルへの応用
静電チャック（ESC）は、半導体製造においてウェハーの固定に使用され、光電産業ではガラスパネルの固定に活用されています。
その利点は以下の通りです。
- 微粒子の発生を防止：機械的なクランプによる粒子の発生を回避し、製造プロセスのクリーン度を向上させます。
- 均一な吸着力：ウェハーの平坦度を確保し、加工精度を向上させます。
- 真空環境に対応：ガラスの吸着、エッチング、PVD、イオン注入などの工程に適用可能です。
静電チャックの種類
吸着力の分類
- クーロン力型：電圧を印加することで、誘電体層の両側に極性が形成され、効果的な静電力によってワークを吸着します。
- JR力型（ジョンソン・ラーベック）：誘電層に導電性材料を混入し、比較的低電圧でも強い吸着力を発揮します。
- 勾配力型：交互に配置された電極により不均一な電場を形成し、吸着効果を高めます。
材料
- セラミック：長寿命であり、コストは比較的高めです。
- ポリイミド（PI）：高温や化学薬品に対する耐性があり、過酷な環境下での使用に適しています。
ヒーターの種類
- セラミックヒーター：加熱素子と電極をセラミック基板に埋め込み、安定した温度制御を実現します。
- PI型ヒーター：柔軟な設計で、-200°Cから180°Cまでの高温に耐え、均一な加熱性能を持ち、複雑な形状の機器にも適用可能です。
再生レベル
L2：
セラミック基板の剥離処理 + L1作業
L3：
新しいセラミックプレートの交換 + L2
L4：
新しいヒーターの交換 + L3
CIP：
カスタマイズ改善プロセス
装置部品の設計・製造
仕様の進化と
性能の向上
カスタム部品
精密設計技術
K-MAXは、カスタム部品の設計・製造に特化しています。お客様のニーズに応じて、既存仕様を超えた最適なソリューションを提供します。当社の専門チームは、設計計画から加工・生産・関連試験まで一貫して携わり、高精度かつ安定した品質の部品を実現。装置性能の向上を図り、半導体産業における精密部品の厳しい要求に対応します。
カスタマサービス
ニーズに応じた設計・技術統合・ワンストップサービス
国際大手メーカーの技術を融合し、総合的なテクノロジーサービスを提供
精鋭チーム
高精度開発
最適なカスタム提案
K-MAXは、高度な技術力と豊富な経験を兼ね備えた専門チームがあり、世界のトップ企業との密接なパートナーシップを築いています。お客様との共同開発（Joint Design）をはじめ、設計から製造、品質検証までを一括で対応するワンストップソリューション（One-Stop Solution）を提供。精密部品のカスタム対応を通じて、次世代テクノロジーの進化を支援します。
当社は、半導体産業に特化した製品コンサルティングサービスを提供し、顧客ニーズに応じた研究開発を推進しています。
表面処理
K-MAXは表面処理の分野において、多様な加工技術を提供しています。これにより、さまざまな業界や用途のニーズに応えることが可能です。主な加工プロセスには以下が含まれます:
サンドブラスト
(Sandblasting)
プロセス紹介
サンドブラストは、高速気流によって研磨材（砂粒）を対象物の表面に衝突させることで行われる処理技術です。この方法により、部品表面の粗さや接着性を改善し、酸化層、汚れ、古いコーティングを除去することが可能です。また、表面に模様を形成する用途にも使用されます。さらに、表面粗度を増加させることで、後工程の塗装やメッキの密着性を向上させる効果もあります。
応用分野
- 表面に特殊なパターンを形成する用途
- 金属製品の表面清掃および錆除去
- 古いコーティングや塗膜の除去
- 表面の粗さを高め、塗装やメッキの密着性を強化
当社の特長
当社は、先進的な自動サンドブラスト装置と経験豊富な技術チームを備えており、さまざまな材料やニーズに応じて最適なソリューションを提供します。表面処理の品質と効率を確保し、お客様のご期待に応えます。
研磨処理
(Polishing)
プロセス紹介
研磨処理は、機械的、化学的、または電気化学的な方法を用いて材料表面を滑らかに仕上げる技術です。表面の粗さを低減し、光沢を向上させることで、外観を美しくするとともに、耐食性の改善にも寄与します。
応用分野
- 金属、プラスチック、セラミック、石英、シリコン、炭化ケイ素など多様な素材
- 高い光沢が求められる製品（例：半導体のエッチング部品、電子機器の筐体、装飾部品）
当社の特長
当社は、各種素材に対応した専用の研磨設備と技術を有しており、精密な研磨サービスを提供しています。表面の平滑性と光沢品質を確保し、製品の付加価値を最大限に高めます。
アルマイト処理
(陽極酸化処理)
プロセス紹介
陽極酸化処理は、金属表面に酸化膜を形成する電気化学的な処理技術です。この酸化膜は耐腐食性、耐摩耗性、硬度、外観性を向上させる保護層として機能します。特にアルミニウムおよびその合金に適しています。
応用分野
- 半導体設備内部の絶縁部品
- 航空機、自動車、電子機器に使用されるアルミ部品
- 製品の保護機能および装飾用途
当社の特長
当社は、先進的な陽極酸化処理技術を導入しており、硫酸およびシュウ酸による表面処理を提供しています。酸化膜の均一性と安定性を確保するだけでなく、特殊な絶縁封孔技術により、多様な顧客ニーズに応えることが可能です。
セラミック溶射
(Ceramic Spraying Coating)
プロセス紹介
セラミック溶射は、熱溶射法の一種であり、アルミナ（Al₂O₃）やイットリア（Y₂O₃）などのセラミック材料を高温で溶融させ、母材の表面に高速で吹き付けて、高硬度・耐摩耗性・耐高温性を備えた皮膜を形成します。
応用分野
- 半導体設備内部で使用される絶縁・プラズマ耐性部品
- タービンブレードや自動車部品
- 耐摩耗性、耐熱性、絶縁性が求められる各種部品
当社の強み
当社は先進的なセラミック溶射装置と高度な技術を備えており、Al₂O₃、Y₂O₃ などを用いた高品質なセラミックコーティングを、お客様のニーズに応じて提供します。これにより、製品の性能および耐久性を大幅に向上させることが可能です。多様な表面処理技術を駆使して、お客様に包括的なソリューションを提供し、製品品質と市場競争力の向上を支援いたします。詳しくは、ぜひ当社の専門チームまでお問い合わせください。
品質管理
K-MAXの
品質管理への取り組み
- トータル品質マネジメント
原材料の検査から製品の出荷まで、精密な設備と厳格な検査プロセスを活用し、製品の機能性の安定性と信頼性を確保しています。 - リーン生産プロセスの導入
最新技術と管理手法を採用し、生産効率を継続的に向上。ISO 9001:2015 国際品質マネジメント規格に厳格に準拠しています。 - 専門性の高いスタッフ育成
品質管理と技術研修を定期的に実施し、チームの専門能力を強化。高効率な運営と卓越したパフォーマンスを支えています。 - 顧客中心のアプローチ
専門のサービスチームを設け、ニーズとフィードバックに真摯に向き合い、製品とサービスの品質を常に向上。優れた顧客体験の創出を目指します。
