產品資訊
Precision and quality in every detail.
上部電極クォーツリング
ガスの流れを安定させ、プラズマ密度を均一化し、電極を保護。
石英
（クォーツ）
石英加工技術
石英は優れた光学特性、耐食性、熱安定性を備え、半導体、オプトエレクトロニクス、精密工業などの分野で広く使用されます。
コア加工技術
- 精密切断：±0.01mmの高精度加工に対応し、多様なサイズ設計に適用可能。
- 表面研磨およびポリッシング：表面粗さ（Ra）最小0.01μmまで対応し、光学品質を確保。
- CNC精密加工：複雑な3次元構造の製作が可能で、高精度部品に対応。
- 高純度洗浄：微粒子や不純物を除去し、クリーン環境での使用を確保。
石英素材の特性
- 高透過性：DUV／UV波長において高い透過率を持ち、光学プロセスに適用可能。
- 耐腐食性：フッ化水素や塩素などの薬品による腐食に強い。
- 熱穩定性與低熱膨脹性：熱応力の影響を抑え、長期的な安定性を確保。
エッチング装置への応用によるメリット
- ガス分布の均一性を向上させ、エッチング効果の一貫性を確保。
- パーティクル汚染を低減し、プロセス欠陥を抑え、歩留まりを向上。
- 反応チャンバーの寿命を延ばし、プラズマによる損耗を低減。
クォーツリングの応用
下部電極クォーツリング
化学腐食を防止し、プラズマの集中度を高め、エネルギー損失を低減。
