產品資訊
Precision and quality in every detail.
選用更耐受離子轟擊的材料與表面鍍層
透過選擇高耐受性的材料或應用特殊表面鍍層，有效提升零件的使用壽命，降低設備維護頻率。
高純度石墨
建泓科技提供高純度的石墨加工產品，特別針對半導體領域設計，滿足離子製程機台內部零部件的高標準需求。我們的石墨產品以高純度、高導電性、高硬度、高潔淨度以及卓越的耐高溫性能著稱，能有效提升機台運行的穩定性與效率。
產品特性
- 高純度與高導電性：適用於多種高溫要求環境。
- 耐高溫與耐腐蝕：適應嚴苛的工作條件，延長使用壽命。
- 高精密加工能力：支持複雜形狀和高精度零件的定制。
- 靈活應用：適合離子植入機、CVD（化學氣相沉積）等半導體核心設備。
石墨加工技術
- CNC 高精密加工：針對石墨材料特性，進行高效能的切削加工，實現極小公差的零件加工，確保精度和穩定性。
- 表面處理技術：提升石墨零件的耐用性和表面光滑度，可有效控制particle的產生。
- 客製化設計：根據客戶的具體需求進行設計與加工，涵蓋各種形狀與尺寸。
半導體應用
- 離子植入機零部件：石墨的穩定性確保注入過程的高效與精準。
- CVD 與 PECVD 製程設備：石墨零件在高溫條件下提供卓越的化學穩定性。
建泓科技積極協助客戶優化 CIP 製程與改善良率，提供以下專業服務：
使用表面加工與材料選擇以減少製程 Particle
採用精細表面處理技術，降低製程中 Particle 的產生，以提升產品良率與製程穩定性。
我們透過技術創新與材料優化，為客戶打造高效率、高品質的製程解決方案。
