核心技術

Innovating today, shaping tomorrow.

靜電吸盤設計與維修

半導體製程及光電面板之應用

靜電吸盤(ESC)在半導體製造中用於固定晶圓,在光電產業中用於玻璃面板固定。

優勢包括:

  • 無微粒污染:避免機械夾持產生微粒,提高製程潔淨度。
  • 均勻吸附力:確保晶圓平坦度,提高加工精度。
  • 適用真空環境:用於玻璃吸附、蝕刻、PVD、離子植入等。

靜電吸盤類型

吸附力分類

  • 庫倫型:外加高電壓,使介電層兩側形成極化,產生有效靜電力做工件吸附。
  • JR型(Johnsen-Rahbek):介電層摻雜導電介質,在較低電壓下可提供更強吸附力。
  • 梯度力型:透過交錯電極形成非均勻電場,提高吸附效果。

材質

  • 陶瓷:壽命長,成本較高。
  • 聚酰亞胺(PI):耐高溫、耐化學腐蝕,適用於極端環境。

加熱器類型

  • 陶瓷加熱器:將加熱元件與電極嵌入陶瓷基體,提供穩定溫控。
  • PI型加熱器:柔性設計,耐高溫(-200°C 至 180°C),加熱均勻,適用於形狀複雜的設備。

維修等級

L1:

Surface polish & Re-patterning

L2:

Ceramic plate de-bonding + L1

L3:

New ceramic plate + L2

L4:

New Heater + L3

CIP:

客製化改善

機台零組件設計製造

規格進化,效能提升
專業級團隊零組件設計生產

客製化零件
設計精密技術

建泓科技專注於客製化零組件的設計與製造,依據客戶需求,提供原有規格之外的最佳解決方案。我們的專業團隊全程參與,從設計規劃到加工、生產及相關測試,確保零件具備更高精度與穩定的品質,全面提升設備效能,滿足半導體工業對精密零組件的嚴格需求。

客製服務

量身訂製,技術整合,一站服務
融合國際大廠技術,提供全面科技服務

專業團隊,精準研發,
客製化解決方案

建泓科技擁有一支技術全面且經驗豐富的專業團隊,並與多家國際企業緊密合作。不僅協助客戶進行聯合設計 (Joint Design) ,還提供完整的一站式解決方案 (One-Stop Solution) 。

我們致力於提供各類產品的諮詢服務,並針對客戶需求進行研發,打造量身訂製的客製化產品,滿足客戶多元化的市場需求。

表面處理

建泓科技在表面處理領域中提供多樣化的加工技術,以滿足不同產業和應用需求。我們的主要製程包括:

噴砂

(Sandblasting)

製程介紹

噴砂利用高速氣流將砂粒噴射衝擊材料表面,改善零件表面的粗糙度與附著性、去除氧化層、污垢或舊塗層、在建立材料表面的圖案做應用。此技術還可增加表面粗糙度,提升後續塗裝或鍍層的附著力。

應用方向

  • 表面特殊圖案的建立
  • 金屬製品的表面清理和除鏽
  • 舊塗層或漆膜的去除
  • 提高表面粗糙度以增強塗層附著力

我們的特色

我們擁有先進的自動化噴砂設備和經驗豐富的技術團隊,能根據不同材質和需求提供最佳解決方案,確保表面處理的品質和效率。

拋光

(Polishing)

製程介紹

拋光是利用機械、化學或電化學方法,對材料表面進行平滑處理,以降低粗糙度並增加光澤度。此技術改善了材料外觀並提高抗蝕性。

應用方向

  • 金屬、塑膠、陶瓷、石英、矽、碳化矽等材料
  • 高光澤度需求的產品,例如半導體蝕刻部件、電子產品外殼、裝飾件

我們的特色

我們擁有專業的各式拋光設備和技術,針對不同材質提供精密拋光服務,確保產品表面達到高品質光澤和平整度。

陽極處理

(Anodizing)

製程介紹

陽極處理是一種電化學氧化工序,通過在金屬表面生成氧化膜保護層,提升抗蝕性與耐磨性、硬度及美觀性。此技術特別適用於鋁及其合金。

應用方向

  • 半導體設備內絕緣用的部件
  • 航空、汽車、電子產品中的鋁製零件
  • 提供防護與裝飾功能

我們的特色

我們採用先進的陽極處理技術,能提供硫酸及草酸陽極表面,並確保氧化膜的均勻性和穩定性,還有特殊的絕緣封孔技術,滿足客戶的多樣化需求。

陶瓷熔射

(Ceramic Coating)

製程介紹

陶瓷熔射是一種熱噴塗技術,通過高溫將陶瓷材料(如Al2O3、Y2O3)熔融,並以高速噴射到基材表面,形成具有高硬度、耐磨性和耐高溫性能的塗層。

應用方向

  • 半導體設備內部用於絕緣、抗電漿轟擊的部件
  • 渦輪葉片、汽車零件
  • 需要耐磨、高溫或絕緣性能的零件

我們的優勢

我們擁有先進的陶瓷熔射設備和技術,能根據客戶需求,提供以Al2O3、Y2O3等為基材的高品質陶瓷塗層,顯著提升產品性能和壽命。

我們致力於通過多元化的表面處理技術,為客戶提供全方位的解決方案,提升產品品質與市場競爭力。如需進一步了解,歡迎聯繫我們的專業團隊!

品質管理

建泓科技
對品質管理的承諾

  • 全面品質控制
    從原材料檢驗到成品出廠,全程運用精密設備與嚴格檢測流程,確保產品功能穩定與可靠性。
  • 精益生產流程
    導入先進技術與管理方法,持續提升生產效率,嚴格遵循 ISO 9001:2015 國際品質管理標準。
  • 專業員工培訓
    定期開展品質管理與技術培訓,強化團隊專業技能,確保高效運作與卓越表現。
  • 以客戶為核心
    設立專業服務團隊,積極傾聽客戶需求與回饋,持續提升產品與服務品質,打造卓越的客戶體驗。

透過這些努力,我們不僅能提供高品質的產品與服務,也能持續超越客戶期望,打造穩健而長久的合作關係,成為值得依賴的合作夥伴。